Kas zina silīcija vafeļu ultraskaņas tīrīšanas mašīnas tīrīšanas metodi?

Ir trīs veidu fiziskā tīrīšana:

1.Skrubis vai skrubis: var noņemt daļiņu piesārņojumu un lielāko daļu plēves iestrēdzis uz plēves.

2.Augstspiediena tīrīšana: tas ir apsmidzināt loksnes virsmu ar šķidrumu, un sprauslas spiediens ir līdz vairākiem simtiem atmosfēru. Augstspiediena tīrīšana ar strūklu, plēve nav viegli ražojama skrāpējumiem un bojājumiem. Tomēr augstspiediena iesmidzināšana radīs elektrostatisku efektu, no kura var izvairīties, pielāgojot attālumu un leņķi no sprauslas uz plēvi vai pievienojot antistatisku līdzekli.

Ultraskaņas tīrīšana: ultraskaņas skaņas enerģija šķīdumā, ar kavitāciju, lai nomazgātu piesārņojumu uz vafelēm. Tomēr ir grūtāk noņemt daļiņas, kas mazākas par 1 mikronu, no grafētajām vafelēm. Ja biežums tiek palielināts līdz uHF, tīrīšanas efekts ir labāks.

Ķīmiskā tīrīšana: lai noņemtu atomu, jonu neredzamo piesārņojumu, ir vairāk metožu, šķīdinātāja ekstrakcija, kodināšana (sērskābe, slāpekļskābe, ūdens ūdens, dažādas jauktas skābes utt.) un plazmas metode. Ūdeņraža peroksīda sistēmas tīrīšanas metodei ir laba ietekme un mazs vides piesārņojums.